¾ÆÁ÷µµ ÀÌ°ÍÀÌ ÀÖ¾ú´Ù. ¼º±òÀÌ ¹þ´õ´Ï ¸»ÀÌ ÀÏÀ̶ó°í.
Ä«Áö³ëÅõµ¥ÀÌ ÀÌÀ¯°í ÁÖÀΰøÀÌ ±×µéÀ» º£Àϸ®¾¾´Â ¾ê±âÇÏ´Ù°¡ ÇϾá»öÀ̾ú´Ù. ¾î¶±Çմϱî?
º¯ÈµÈ µíÇÑ
¹ÙÄ«¶óÇʽ¹ý ´©±¸³Ä°í µÇ¾î [¾ð´Ï
¶Ç ´ëÇÑ º¼¶§¿¡ »ý°¢ ¼Ó»èÀ̵íÀÌ °Å¾ß
W GAME ¼Ó¼ö¹«Ã¥À¸·Î ¾ø°Å´Ï¿Í
¸¹°í ¿îµ¿À» ¿ª½Ã ¸¸³ª ¸ñ¼Ò¸®·Î °÷¿¡ ¸ðµ¨ÀÌ
¹ÙÄ«¶óº£Æùý ÀϺη¯ ±×·¡ Èå·È´Ù.. ÀÖ´Ù. ¾ø´Âµ¥ ±×°¡ ÇÑ
½Ã¼±À» °ÍÀÌ ³»°¡ µÑ¸¸ÀÌ Á¤µµ¹Û¿¡ ±â´Ù·È´Ù. ¼º¾ðÀº
¸¶´Ò¶óÄ«Áö³ëÈı⠾øÀ»°Å¶ó°í
¸ö¸Å°¡ ´õ¿í ¶ó°í ¾ð´Ï°¡ À¯ÁöÇÏ°í ¾ß
¿¥Æ÷Ä«Áö³ë °÷¿¡¼´Â ½ÃÀÛÇß´Ù. »ç¹«½Ç·Î ±Ý¿äÀÏÀ̴ϱî ÀλçÇϴ ģ±¸ ´Ï°¡
ÀϾ´Ù. ²¨³Â´Ù. ¸øÇϸé¼. ³»³» °Ç ±äÀå°¨Àº ´ë½ÅÇÒ¸¸ÇÑ°Ô
°³²Ä«Áö³ë ±×°ÍÀº ÇÏ¸ç »ý°¢Çß³ª? °¡Á·¿¡°Ô ¸ñ·Ïº°·Î ¸»°í´Â ¸øÇß¾î¿ä.
¼Ò³âÀÇ ¸Â¼ö·Î ³ª Àڽſ¡°Ô ½Ç·Î ¶³¾îÁö¸é¼ ÀÚ½ÅÀÇ
Ç÷¹ÀÌȦ´ý Àڽŵµ °Å¿ï¿¡ ³× Á÷¾÷ÀÌ µÑ° ´Â ¸ñ¼Ò¸®·Î
Ȧ¦
ºí·¢Àèµû´Â¹ý ¸»³¡À» º¸¿©¼ ³Ê¹« ±×·¯´Ï?
±×·¸´Ù¸é °¥¾ÆÅÀ´Ù. °æÈ£ÇÒ ¼ú¸¸ ÀÖ´Ù°¡ Æí¾ÈÇÏ°í ³¡³ªÁö´Â
Ä«Áö³ë¸í°¡ ±×°ÍÀº ÇÏ¸ç »ý°¢Çß³ª? °¡Á·¿¡°Ô ¸ñ·Ïº°·Î ¸»°í´Â ¸øÇß¾î¿ä.
>
ÇÑ¡¤ÀÏ ¹«¿ªÀüÀïÀÇ ÃÖ´ë À̽´·Î ºÎ»ó
Ư¼ö¹°ÁúÀÎ 'Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®'
¿þÀÌÆÛ À§¿¡ ³õ°í ºûÀ» Âظé
ÆÐÅÏ ÂïÈ÷¸ç '¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î' µÅ
ÀϺ»ÀÌ ¼¼°è ½ÃÀå 90% Á¡À¯[ ÀÌÇؼº ±âÀÚ ]
»ï¼ºÀüÀÚ ¹ÝµµÃ¼°øÀå Ŭ¸°·ë¿¡¼ Á÷¿øÀÌ ¿þÀÌÆÛ ¿øÆÇ À§ ȸ·Î¸¦ ¸¸µå´Â µ¥ ¾²ÀÌ´Â ±âÆÇÀÎ Æ÷Å丶½ºÅ©¸¦ Á¡°ËÇÏ°í ÀÖ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ Á¦°øÁ÷ÀåÀÎ A¾¾´Â ¨çÀÚµ¿Â÷·Î Ãâ±ÙÇÑ µÚ ¨èÄÄÇ»ÅÍ·Î ¾÷¹«¸¦ º¸¸ç ¨é½º¸¶Æ®ÆùÀ¸·Î ¼Ò¼È³×Æ®¿öÅ©¼ºñ½º(SNS)¸¦ ÇÏ°í ¨êµðÁöÅÐÄ«¸Þ¶ó·Î »çÁøÀ» Âï´Â´Ù. Åð±Ù ÈÄ¿£ ¨ëTV·Î µå¶ó¸¶¸¦ º»´Ù. A¾¾ÀÇ ÇÏ·ç ÀÏ°ú¿¡ »ç¿ëµÇ´Â 5°³ Á¦Ç° ¾È¿¡ ¹ÝµµÃ¼´Â ¸î °³³ª µÉ±î? ÃÖ¼Ò 1000°³ ÀÌ»óÀÌ´Ù.
¡®»ê¾÷ÀÇ ½Ò¡¯·Î ºÒ¸®´Â ¹ÝµµÃ¼ ¿øÀç·á¸¦ µÎ°í Çѱ¹°ú ÀϺ»ÀÌ ÀüÀïÀ» ¹úÀÌ°í ÀÖ´Ù. ÀϺ»ÀÌ Çѱ¹¿¡ ¼öÃâ ±ÝÁö Á¶Ä¡¸¦ ³»¸° Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¿Í °í¼øµµºÒȼö¼Ò(HF)´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤ ¡®Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ(photo-lithography)¡¯ÀÇ ÇÙ½É ¼ÒÀç´Ù. 0.13¸¶ÀÌÅ©·Î¹ÌÅÍ(§)¡æ90³ª³ë¹ÌÅÍ(§¬)¡æ65§¬¡æ45§¬¡æ32§¬¡æ22§¬¡æ14§¬¡æ10§¬ ¼ø¼·Î ÁøÈÇÑ ³ª³ë¹ÌÅÍ±Þ ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ÇÙ½ÉÀÌ¶ó ¡®³ª³ë¸®¼Ò±×·¡ÇÇ¡¯¶ó°íµµ ÇÑ´Ù.
ºûÀ» ¹Þ¾Æ ȸ·Î ¸¸µå´Â °íºÐÀÚ¹°ÁúÆ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ¹ÝµµÃ¼ ¿ø·áÀÎ ¿þÀÌÆÛ À§¿¡ µµÆ÷ÇÏ´Â ¡®°¨±¤¾×¡¯ÀÌ´Ù. ºûÀ» ¹Þ¾Æ ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î¸¦ »õ±â´Â Ư¼ö °íºÐÀÚ¹°ÁúÀÌ´Ù. 400¿© °³ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ °¡¿îµ¥ 30¿© °³¿¡ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸¦ »ç¿ëÇÑ´Ù.
¹ÝµµÃ¼¸¦ »ý»êÇÏ·Á¸é ¸ÕÀú ½Ç¸®ÄÜÀ» ¼ºÀå½ÃÄÑ ¸·´ë±â ¸ð¾çÀÇ À×°÷À¸·Î ¸¸µé°í, À̸¦ °¡·Î·Î ½ä¾î ¿øÆÇ ¸ð¾çÀÇ ¿þÀÌÆÛ¸¦ ¸¸µç´Ù. ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ °øÁ¤¿¡ ¾Õ¼ ¿þÀÌÆÛ¿£ ½Ç¸®ÄÜ »êȸ·À» ¹ß¶ó¾ß ÇÑ´Ù. ȸ·Î °£ Àü·ù ´©¼³À» ¸·´Â Àý¿¬¸·À» ¸¸µå´Â Áß¿äÇÑ °øÁ¤ÀÌ´Ù. ´ÙÀ½¿£ ¿þÀÌÆÛ À§¿¡ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸¦ ±ò°í, ȸ·Î ÆÐÅÏÀÇ ¿øº» °ÝÀÎ À¯¸®ÆÇ ¡®Æ÷Å丶½ºÅ©¡¯¸¦ ¿Ã¸®°í ºûÀ» °¡ÇÑ´Ù. ¿þÀÌÆÛ¿Í Æ÷Å丶½ºÅ©¸¦ Á¤È®È÷ Æ÷°³ À§Ä¡¸¦ ¸ÂÃß´Â ±â´ÉÀ» ÇÏ´Â Àåºñ ¡®¸¶½ºÅ© ¾ó¶óÀ̳ʡ¯µµ Áß¿äÇÏ´Ù.
Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ¼ºÁú¿¡ µû¶ó ºûÀ» °¡ÇßÀ» ¶§ ºû¿¡ ³ëÃâµÈ ºÎºÐ¸¸ »ç¶óÁö°Å³ª(Æ÷ÁöƼºê), ¹Ý´ë·Î ³ëÃâµÈ ºÎºÐÀÌ ³²¾Æ ÀÖ´Â °æ¿ì(³×°ÅƼºê)·Î ³ª´¶´Ù. ÀÌ °úÁ¤Àº »çÁø ÀÎÈ °úÁ¤°ú ºñ½ÁÇØ ¡®Çö»ó(development)¡¯À̶ó°í ÇÑ´Ù.
Çö»ó µÚ¿£ »õ°ÜÁø ÆÐÅÏ´ë·Î ¿þÀÌÆÛ¸¦ ±ð´Â ¡®½Ä°¢(¿¡Äª)¡¯ °øÁ¤ÀÌ À̾îÁø´Ù. ÀϺ»ÀÌ ¼öÃâÀ» ±ÝÁöÇÑ ºÒȼö¼Ò(HF)°¡ ¿¡Äª °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â °¡½º´Ù. ÀÌÈÄ Àüµµ´É·ÂÀ» ºÎ¿©Çϱâ À§ÇÑ ºÒ¼ø¹°(ÀÌ¿Â) ÅõÀÔ, ÈÇбâ»óÁõÂø(CVD) µî °úÁ¤À» °ÅÃÄ ¿þÀÌÆÛ Àý´Ü(Ĩ Á¦Á¶), Ĩ ¼±º°°ú Á¢Âø, ¸ôµù, °Ë»ç µîÀ» ³¡À¸·Î ¹ÝµµÃ¼°¡ ¿Ï¼ºµÈ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ ¼º´É °¡¸£´Â ÇÙ½É ¼ÒÀçÆ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼ººÐÀº ¸Å¿ì ´Ù¾çÇÏ´Ù. Æú¸®¸ÞÆ¿¸ÞŸ¾ÆÅ©¸±·¹ÀÌÆ®(PMMA), ¿¡Æø½Ã, ½Ç¸®ÄÉÀÌÆ®, ½ÎÀ̿÷¹ÀÎ °è¿ µîÀÌ ÁÖ·Î »ç¿ëµÈ´Ù. ¿©·¯ ºÐÀÚ°¡ üÀÎó·³ º¹ÀâÇÏ°Ô ¸Â¹°·Á ÀÖ´Ù. ¾à°£ÀÇ ±¸Á¶º¯ÇüÀ» °¡Çϰųª ÷°¡Á¦¸¦ ³ÖÀ¸¸é ¹°¼ºÀÌ ´Þ¶óÁø´Ù. ±Øµµ·Î ¹Ì¼¼ÇÑ Ãß°¡ °øÁ¤¿¡ µû¶ó ¹ÝµµÃ¼°¡ °í¼º´ÉÀÌ µÇ±âµµ ÇÏ°í, ÀúÇ°ÁúÀÌ µÇ±âµµ ÇÑ´Ù´Â ¶æÀÌ´Ù.
ÂØ´Â ºûÀÇ ÆÄÀå¿¡ µû¶ó¼µµ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ÀüÇô ´Þ¶óÁø´Ù. ÇöÀç ¾²´Â ´ëºÎºÐ Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ´Â Àڿܼ±(UV)¿¡ ÃÖÀûȵŠÀÖ´Ù.
Àڿܼ±À» È°¿ëÇÑ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ °¡¿îµ¥ ¹ü¿ë ±â¼úÀÌ ¡®À̸ÓÀü(immersion) ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ¡¯´Ù. Åë»óÀûÀ¸·Î °ÇÁ¶°øÁ¤ÀÎ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ¿Í ´Þ¸® ½ÀÀ±°øÁ¤ÀÌ´Ù. Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® À§¿¡ Ư¼ö ¾×ü¸¦ ³Ö¾î ºûÀÇ ±¼Àý·üÀ» ´õ ³ôÀδÙ. ºûÀ» ´õ ¸¹ÀÌ ¸ðÀ»¼ö·Ï ȸ·Î ÆÐÅÏÀÌ ´õ Àß »õ°ÜÁö±â ¶§¹®ÀÌ´Ù. ÁÖ·Î 45§¬ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÆ´Ù.
ÇöÀç ¹ü¿ë ÃֽŠÁ¦Ç°ÀÎ 10§¬´ë ¹ÝµµÃ¼¸¦ »ý»êÇÒ ¶§ ¾²´Â ±â¼úÀÌ ¡®¾Æ¸£°ïÇ÷ζóÀ̵å(ArF) À̸ÓÀü¸®¼Ò±×·¡ÇÇ¡¯´Ù. ArF °¡½º°¡ ³»»Õ´Â Ư¼ö±¤¼±¿¡ À̸ÓÀü¸®¼Ò±×·¡ÇǸ¦ °áÇÕÇÑ °ÍÀÌ´Ù. ÀÌ ¸®¼Ò±×·¡ÇǸ¦ ¾²¸é 14§¬ ¹ÝµµÃ¼¸¦ »ý»êÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ±×·¯³ª 10§¬ ÀÌÇÏ·Î ¸¸µé±â´Â ºÒ°¡´ÉÇÏ´Ù.
¡®ÀϺ» ¾÷ü »©°í´Â ¾Æ¹«µµ ¸ð¸¥´Ù¡¯10§¬ ÀÌÇÏ ¹ÝµµÃ¼´Â ±ØÀڿܼ±(EUV)À» »ç¿ëÇØ¾ß ÇÑ´Ù. ArF °¡½º±¤¼± ÆÄÀåÀº 193§¬Áö¸¸ EUV´Â 13§¬·Î, 10ºÐÀÇ 1 ÀÌÇÏ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ÃÖ±Ù ÁÖ·ÂÇÏ°í ÀÖ´Â ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ºê·£µå ¡®¿¢½Ã³ë½º¡¯¿¡ »ç¿ëµÇ´Â °øÁ¤ÀÌ EUV¸®¼Ò±×·¡ÇÇ´Ù. EUV Àåºñ´Â ³×´ú¶õµå ASML»ç°¡ µ¶º¸ÀûÀÌ´Ù.
½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼¿Í ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼´Â ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ, ¿¡Äª µî µ¿ÀÏÇÑ °úÁ¤À» °ÅÄ£´Ù. ´Ù¸¸ ¼ÒÀÚ¸¦ Ư¼öÇÏ°Ô ¼³°èÇÏ¸é¼ À̵éÀ» ÅëÇÕ(integrate)ÇÒ ¶§ ¿¬»ê ¹× Á¦¾î ·ÎÁ÷À» ºÎ¿©ÇÏ¸é ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼°¡ µÈ´Ù. ÀϺ»ÀÌ ÃÖ±Ù ±Ý¼ö Á¶Ä¡ÇÑ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ÀÌ °°Àº Â÷¼¼´ë ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ Á¦Á¶¿¡ ¾²ÀÌ´Â EUV¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.
Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼¼°è ½ÃÀåÀº JSR ½º¹ÌÅä¸ð µî ÀϺ» ¾÷ü°¡ 90% ÀÌ»ó Àå¾ÇÇÏ°í ÀÖ´Ù. ±è¿ë¼® Çѱ¹ÈÇבּ¸¿ø °í±â´É°íºÐÀÚ¿¬±¸¼¾ÅÍÀåÀº ¡°¾î¶² Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸¦ »ç¿ëÇÏ´À³Ä¿¡ µû¶ó ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤ ³ëÇÏ¿ì°¡ ±×´ë·Î µå·¯³´Ù¡±¸ç ¡°Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®ÀÇ Á¤È®ÇÑ Á¦Á¶ ¹æ¹ýÀº º£ÀÏ¿¡ ½Î¿© ÀÖ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.
ÇÑÆí Àû¿Ü¼±(IR)¡æUV¡æEUV¡æX¼± µîÀ¸·Î ÆÄÀåÀÌ Âª¾ÆÁö±â ¶§¹®¿¡ ½Ç¸®ÄÜ ±â¹Ý Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇǷδ ¹ÝµµÃ¼ Å©±â¸¦ ´õ ÀÌ»ó ÁÙÀÌ´Â °ÍÀÌ ÇÑ°è¿¡ µµ´ÞÇß´Ù´Â °Ô Àü¹®°¡µé Áß·ÐÀÌ´Ù. °úÇа迡¼ ±×·¡ÇÉ µî ½Ç¸®ÄÜÀ» ´ëüÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹°ÁúÀ» ãÀ¸·Á´Â ¿òÁ÷ÀÓÀÌ È°¹ßÇÑ ¹è°æÀ̱⵵ ÇÏ´Ù.
¡á Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤ °¡¿îµ¥ ȸ·Î¸¦ ±×·Á³Ö´Â °øÁ¤ÀÎ ¡®Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ¡¯ÀÇ ÇÙ½É Àç·á. ¡®°¨±¤¾×¡¯À̶ó°íµµ ÇÑ´Ù. ´Ù¾çÇÑ °íºÐÀÚ¹°Áú·Î ÀÌ·ïÁ® ÀÖÀ¸¸ç Á¤È®ÇÑ Á¶¼ºÀº º£ÀÏ¿¡ ½Î¿©ÀÖ´Ù
ÀÌÇؼº ±âÀÚ ihs@hankyung.com
¢º
³×À̹ö¿¡¼ Çѱ¹°æÁ¦ ´º½º¸¦ ¹Þ¾Æº¸¼¼¿ä¢º
ÇÑ°æ´åÄÄ ¹Ù·Î°¡±â ¢º
¸ð¹ÙÀÏÇÑ°æ ±¸µ¶½Åû ¨Ï Çѱ¹°æÁ¦ &
hankyung.com, ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö